江丰电子请求MoNb合金靶材再生办法专利完成对MoNb合金废靶的收回再利用
来源:火狐体育官方版    发布时间:2024-02-28 09:55:54| 阅读次数:518

  (原标题:江丰电子请求MoNb合金靶材再生办法专利,完成对MoNb合金废靶的收回再利用)

  金融界2024年1月10日音讯,据国家知识产权局公告,宁波江丰电子资料股份有限公司请求一项名为“一种MoNb合金靶材的再生办法“,公开号CN117358930A,请求日期为2023年10月。

  专利摘要显现,本发明触及一种MoNb合金靶材的再生办法,所述再生办法有如下过程:(1)MoNb合金废靶经外表预处理,得到预处理废靶;(2)将过程(1)所得预处理废靶进行电子束熔炼处理,所得MoNb合金锭材经等离子体球化处理,得到MoNb合金粉体;(3)过程(2)所得MoNb合金粉体顺次经填充振实处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工,得到所述MoNb合金靶材。本发明经过将电子束熔炼与等离子体球化工艺相结合,完成了对MoNb合金废靶的收回再利用,制得的MoNb合金靶材致密度较高,能到达平板显现职业的高性能要求。

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