拓荆科技获得等离子体反响器专利该专利技术能简化工艺流程消除加工死角节省本金便于替换工艺工况提高抽气结构的利用率
拓荆科技获得等离子体反响器专利，该专利技术能简化工艺流程，消除加工死角，节省加工成本，便于替换工艺工况，提高抽气结构的利用率
金融界2024年2月24日音讯，据国家知识产权局公告，拓荆科技股份有限公司获得一项名为“一种等离子体反响器“，授权公告号CN114300336B，请求日期为2021年12月。
专利摘要显现，本发明供给一种等离子体反响器，包含反响器腔室，所述反响器腔室设有榜首抽气环、第二抽气环、喷头面板和加热器；所述喷头面板用于向所述反响器腔室喷洒等离子体；所述榜首抽气环与所述第二抽气环互相配合；所述第二抽气环与所述加热器互相配合；所述第二抽气环开设有通孔，所述通孔的数量为若干个，所述通孔贯穿所述第二抽气环；所述加热器用于供给等离子体反响的温度条件。该等离子体反响器用于简化工艺流程，消除加工死角，节省加工成本，便于替换工艺工况，提高抽气结构的利用率。
