中国电科完成国产离子注入机28纳米工艺全掩盖！
其实离子注入机尽管不如光刻机受人注目，但是在fab中也是前几的贵重，精密机器了。现在用的最多的是运用资料的机器还有瓦舍立的，都是美国公司，被卡脖子的危险很高。没想到国产化进程如此之快。
简单说一下吧，离子注入机是离子注入工艺运用的机器，首要的作用是将需求的杂质比方As，P，B之类电离成等离子体，再经过磁场拉成离子束，注入到硅片内部，构成PN结。
依据离子束的巨细，能量，大体上分为High current, Medium current, High energy三种。fab顶用的多是运用资料的Varian系列的，这是运用资料收买的，还有Axcelis ，绝大多数都是美企占有首要市场占有率，日本的日新和住友也有离子注入机。
一般一台的价格是200-500万美元，算得上是比较贵重的机器了，所以许多fab买的是二手货。这玩意的技能难度尽管无法跟光刻机比，能国产化也是功德一件，至少价格应该会下来。
